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發(fā)布時(shí)間: 2019-09-23 07:52:21
新聞來源: 無錫久安化工有限公司
氣體的應(yīng)用范圍
氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料,應(yīng)用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥醫(yī)療等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體的應(yīng)用,特別對(duì)這些領(lǐng)域的高新技術(shù)有重要的影響,是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng),氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和數(shù)量等方面得到飛躍發(fā)展。
氣體在微電子、半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用
氣體的使用在半導(dǎo)體制程中一直扮演著重要的角色,特別是半導(dǎo)體制程目前已被廣泛的應(yīng)用于各項(xiàng)產(chǎn)業(yè),凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機(jī)電(MEMS)產(chǎn)業(yè),皆以所謂的半導(dǎo)體制程為產(chǎn)品的制造流程,其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體,而氣體的純度則對(duì)組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響,氣體供應(yīng)的則關(guān)乎人員的健康與工廠運(yùn)作。
關(guān)鍵詞: 特種氣體 氣體 高純度 工業(yè)氣體 無錫
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